产品特点：

用在class10级净化车间对8寸/12寸晶圆进行UV解胶。

通过SECS/GEM 或E84对接天车系统，同时可上下两个料盒。

晶圆机器人扫料盒识别maping并通过SECS/GEM与EAP比对料盒信息，比对成功后，晶圆机器人取8寸或12寸Ring放置两个UV解胶平台。

UV灯移动均匀解胶，UV功率可控且可监控。解胶参数由EAP管控。

解胶完成再通过晶圆机器人将Ring放回料盒。